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利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 国家标准《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。