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用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程

基础信息

标准号:GB/T 29057-2012发布日期:2012-12-31实施日期:2013-10-01废止日期:2024-03-01标准类别:方法中国标准分类号:H80国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委

采标情况

本标准修改采用其他国际标准:SEMI MF1723-1104。采标中文名称:用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程。

起草单位

四川新光硅业科技有限责任公司天威四川硅业有限责任公司乐山乐电天威硅业科技有限责任公司

起草人

梁洪刘畅蓝志张华端陈自强张新

相近标准(计划)

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