第三方检测中心

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硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

基础信息

标准号:YS/T 839-2012

发布日期:2012-11-07

实施日期:2013-03-01

制修订:制定

中国标准分类号:H68

国际标准分类号:77.120.99

技术归口:全国有色金属标准化中心

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:无

备案信息

备案号:38133-2013

备案日期:2014-12-26

备案公告:2013年第1号(总第157号)

起草单位

中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司

起草人

高英、武斌 等