基础信息

标准号：SJ/T 11637-2016

发布日期：2016-10-22

实施日期：2017-01-01

制修订：制定

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：56754-2017

备案日期：2016-12-16

备案公告：2017年第1号(总第205号)

起草单位

杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

尹云航、陈玉英、周利超 等