基础信息

标准号：SJ/T 11636-2016

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

制修订：制定

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：55018-2016

备案日期：2016-06-29

备案公告：2016年第7号(总第199号)

起草单位

杭州格林达化学有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

尹云舰、王香、陈玉英 等