基础信息

标准号：SJ/T 11629-2016

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

制修订：制定

中国标准分类号：H21

国际标准分类号：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：54997-2016

备案日期：2016-06-29

备案公告：2016年第7号(总第199号)

起草单位

中国有色金属工业标准计量质量研究所、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、浙江精功科技股份有限公司等

起草人

唐贺杰、任皓、贺东江 等