基础信息

标准号：SJ/T 3328.3-2016

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

制修订：修订

代替标准：SJ 3228.3-1989

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：产品标准

备案信息

备案号：54877-2016

备案日期：2016-06-22

备案公告：2016年第7号(总第199号)

起草单位

工业和信息化部电子工业标准化研究院、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所

起草人

程尚栩、栾振祥、许振午 等