基础信息

标准号：SJ/T 11576-2016

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

制修订：制定

中国标准分类号：L95

国际标准分类号：31.550

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：产品标准

备案信息

备案号：54855-2016

备案日期：2016-06-22

备案公告：2016年第7号(总第199号)

起草单位

沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人

贺立波、徐春旭、汪明波 等