基础信息

标准号：GB/T 11446.5-1997发布日期：1997-09-01实施日期：1998-09-01废止日期：2014-08-15标准类别：方法中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：工业和信息化部（电子）执行单位：工业和信息化部（电子）主管部门：工业和信息化部（电子）

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：ASTM D5127:1990。采标中文名称:。

起草单位

中国科学院半导体研究所

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