基础信息

标准号：SJ/T 11555-2015

发布日期：2015-10-10

实施日期：2016-04-01

制修订：制定

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：52023-2015

备案日期：2015-11-20

备案公告：2015年第12号(总第192号)

起草单位

苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院等

起草人

刘兵、钱森林、王洪华 等