基础信息

标准号：YS/T 1060-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：制定

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.040.30

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：50408-2015

备案日期：2015-07-08

备案公告：2015年第7号(总第187号)

适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣等