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金铍蒸发料

基础信息

标准号:YS/T 1069-2015

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

制修订:制定

中国标准分类号:H68

国际标准分类号:77.150.99

技术归口:全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:产品标准

备案信息

备案号:50420-2015

备案日期:2015-07-08

备案公告:2015年第7号(总第187号)

适用范围

本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。

起草单位

贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院

起草人

谢宏潮、阳岸恒、向磊等