基础信息

标准号：YS/T 14-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：修订

代替标准：YS/T 14-1991

中国标准分类号：H21

国际标准分类号：77.040.

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：50403-2015

备案日期：2015-07-08

备案公告：2015年第7号(总第187号)

适用范围

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

起草人

马林宝、杨帆、葛华等