基础信息

标准号：YS/T 1025-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：制定

中国标准分类号：H63

国际标准分类号：77.150.99

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：产品标准

备案信息

备案号：50323-2015

备案日期：2015-07-08

备案公告：2015年第7号(总第187号)

适用范围

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等

起草人

姚力军、王学泽、丁照崇等