基础信息

标准号：SJ/T 11514-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：制定

中国标准分类号：L90

国际标准分类号：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：产品标准

备案信息

备案号：50571-2015

备案日期：2015-07-08

备案公告：2015年第7号(总第187号)

起草单位

北京力拓达科技有限责任公司

起草人

李春圃、邵磊