基础信息

标准号：SJ/T 11492-2015

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

制修订：制定

中国标准分类号：H83

国际标准分类号：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：50549-2015

备案日期：2015-07-08

备案公告：2015年第7号(总第187号)

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国科学院半导体研究所等

起草人

李静、金鹏、何秀坤 等