基础信息

标准号：GB/T 16596-1996发布日期：1996-11-04实施日期：1997-04-01废止日期：2020-02-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等效采用其他国际标准：SEMI M20:1992。采标中文名称:。

起草单位

中国有色金属工业总公司

相近标准(计划)

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范20250721-T-609 金刚石多晶片20250748-T-609 金刚石单晶片20194111-T-339 声表面波器件用单晶晶片 规范与测量方法GB/T 28584-2012 城市坐标系统建设规范YS/T 986-2014 晶片正面系列字母数字标志规范GB/T 16595-2019 晶片通用网格规范20231113-T-469 半导体晶片直径测试方法20231108-T-469 碳化硅单晶片微管密度测试方法20241911-T-469 太阳能电池用硅单晶及硅单晶片