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蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

基础信息

标准号:GB/T 34504-2017发布日期:2017-10-14实施日期:2018-05-01废止日期:2025-02-01标准类别:方法中国标准分类号:H17国际标准分类号:77.040 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委

起草单位

天通控股股份有限公司

起草人

康森宋岩岩於震杰邵峰沈瞿欢

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