基础信息

标准号：SJ/T 11469-2014

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

制修订：制定

中国标准分类号：L90

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：无

备案信息

备案号：47168-2014

备案日期：2014-12-26

备案公告：2014年第12号(总第180号)

起草单位

中国科学院声学研究所

起草人

潘潮、陈守六 等