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晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备 第2部分:板式PECVD设备

基础信息

标准号:SJ/T 11829.2-2022

发布日期:2022-10-20

实施日期:2023-01-01

制修订:制定

中国标准分类号:L 95

国际标准分类号:31.55

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:产品标准

备案信息

备案号:94237-2024

备案日期:2024-05-31

备案月报:2024年第5号(总第289号)

起草单位

暂无...

起草人

暂无...