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碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

基础信息

标准号:YS/T 1600-2023

发布日期:2023-04-21

实施日期:2023-11-01

制修订:制定

中国标准分类号:H17

国际标准分类号:77.040.30

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:方法标准

备案信息

备案号:93568-2024

备案日期:2024-03-14

备案月报:2024年第3号(总第287号)

适用范围

本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。

起草单位

暂无...

起草人

暂无...