基础信息

标准号：SJ/T 11451-2022

发布日期：2022-10-20

实施日期：2023-01-01

制修订：修订

代替标准：SJ/T 11451-2013

中国标准分类号：L 97

国际标准分类号：27.01

技术归口：中国电子技术标准化研究院

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

备案信息

备案号：89619-2023

备案日期：2023-06-08

备案月报：2023年第6号(总第278号)

适用范围

适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人

李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳