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氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

基础信息

标准号:YS/T 1392-2020

发布日期:2020-12-09

实施日期:2021-04-01

制修订:制定

中国标准分类号:H17

国际标准分类号:77.04

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

标准类别:方法标准

备案信息

备案号:81096-2021

备案日期:2021-03-09

备案月报:2021年第3号(总第251号)

适用范围

本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。

起草单位

暂无...

起草人

暂无...