基础信息
标准号:YS/T 1392-2020
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
制修订:制定
中国标准分类号:H17
国际标准分类号:77.04
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
标准类别:方法标准
备案信息
备案号:81096-2021
备案日期:2021-03-09
备案月报:2021年第3号(总第251号)
适用范围
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围(体积分数):二氯二氢硅为0.01 %~20 %,三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %~100 %。
起草单位
暂无...
起草人
暂无...