基础信息

标准号：SJ/T 11763-2020

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

制修订：制定

中国标准分类号：L 95

国际标准分类号：31.55

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：基础标准

备案信息

备案号：80909-2021

备案日期：2021-03-05

备案月报：2021年第3号(总第251号)

适用范围

适用于半导体制造设备

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳 等