基础信息

标准号：SJ/T 11762-2020

发布日期：2020-12-09

实施日期：2021-04-01

制修订：制定

中国标准分类号：L 95

国际标准分类号：31.55

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：基础标准

备案信息

备案号：80908-2021

备案日期：2021-03-05

备案月报：2021年第3号(总第251号)

适用范围

适用于半导体设备制造信息标识

起草单位

中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等

起草人

冯亚彬、程朝阳、钟华 等