基础信息
标准号：GB/T 14139-1993发布日期：1993-02-06实施日期：1993-10-01废止日期：2010-06-01标准类别：产品中国标准分类号：H81归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
采标情况
本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI S2。采标中文名称:。
起草单位
上海第二冶炼厂
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