基础信息

标准号：GB/T 13843-1992发布日期：1992-12-28实施日期：1993-08-01废止日期：2017-12-15标准类别：产品中国标准分类号：L90归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI M3:1983。采标中文名称:。

起草单位

天津半导体技术研究所

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