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微机电系统(MEMS)技术 术语

基础信息

标准号:GB/T 26111-2010发布日期:2011-01-10实施日期:2011-10-01废止日期:2023-09-01标准类别:基础中国标准分类号:L55国际标准分类号:31.200 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

中机生产力促进中心清华大学中北大学等中国电子科技集团第13研究所上海交通大学

起草人

丁红宇刘伟张苹崔波

相近标准(计划)

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