基础信息

标准号：GB/T 10118-1988发布日期：1988-12-10实施日期：1989-12-01废止日期：2010-06-01标准类别：产品中国标准分类号：H66国际标准分类号：77.120.70 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京有色金属研究总院

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