基础信息

标准号：GB/T 9506.5-1988发布日期：1988-06-25实施日期：1988-12-01废止日期：2011-05-01标准类别：方法中国标准分类号：L32国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

上海电子管二厂

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