基础信息
标准号:GB/T 9506.2-1988发布日期:1988-06-25实施日期:1988-12-01废止日期:2011-05-01标准类别:方法中国标准分类号:L32国际标准分类号:31-030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
上海电子管二厂
相近标准(计划)
GB/T 9505-2010 蒸散型钡吸气剂GB/T 8763-2020 非蒸散型吸气材料及制品吸气性能测试方法YB/T 4231-2010 硅钡铝、硅钙钡和硅钙钡铝合金 铝、钡、铁、钙、锰、铜、铬、镍和磷含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法20250075-T-604 真空技术真空泵性能测量标准方法第5部分:非蒸散型吸气剂(NEG)真空泵YB/T 109.2-1997 硅钡合金化学分析方法硫酸钡重量法测定钡量