基础信息

标准号：GB/T 25076-2010发布日期：2010-09-02实施日期：2011-04-01废止日期：2019-06-01标准类别：产品中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料股份公司洛阳鸿泰半导体有限公司万向硅峰电子股份有限公司西安隆基硅材料有限公司等

起草人

孙燕张果虎蒋建国曹宇卢立延楼春兰

相近标准(计划)

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