基础信息

标准号：GB/T 44631-2024发布日期：2024-09-29实施日期：2025-04-01标准类别：产品中国标准分类号：L97国际标准分类号：31.260 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司漳州市太龙照明工程有限公司中国电子技术标准化研究院浙江中聚材料有限公司

起草人

程朝阳田涛曹可慰吴怡然张宝帅李殿浦郭训容刘学庆赵俊莎孙岩李英钟结实蔡书义王凯武小娟

相近标准(计划)

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