基础信息
标准号:GB/T 43965-2024发布日期:2024-04-25实施日期:2024-11-01标准类别:方法中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
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起草人
孙猛金向华李楷东吴怡然陶刚义孙明璐向冲王成张园园郭树虎何珂李冲合张明英赵俊莎肖俊平曹可慰赵斌陈德义冯琼华黄天次万烨戈士勇戈烨铭甘俊陈道伟
相近标准(计划)
20231180-T-469 电子级磷酸20232463-T-469 电子级四氯化钛20232465-T-469 电子级四甲基硅烷20232462-T-469 电子级八甲基环四硅氧烷20231182-T-469 电子级四(二甲氨基)钛20231195-T-469 电子级五(二甲氨基)钽20231185-T-469 电子级N-甲基-2-吡咯烷酮GB/T 41881-2022 电子级硫酸GB/T 28159-2011 电子级磷酸GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓