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微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

基础信息

标准号:GB/T 43748-2024发布日期:2024-03-15实施日期:2024-10-01标准类别:方法中国标准分类号:N 33国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国微束分析标准化技术委员会执行单位:全国微束分析标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心胜科纳米(苏州)股份有限公司南方科技大学

起草人

伍超群于洪宇周鹏邱杨程鑫乔明胜陈文龙黄晋华汪青

相近标准(计划)

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