基础信息

标准号：GB/T 5238-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01废止日期：2020-05-01全部代替标准：GB/T 15713-1995,GB/T 5238-1995标准类别：产品中国标准分类号：H66国际标准分类号：77.120.99 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

南京锗厂有限责任公司

起草人

张莉萍吴玉麟

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