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洁净室及相关受控环境 第14部分:按粒子浓度评估设备适用性

基础信息

标准号:GB/T 25915.14-2022发布日期:2022-12-30实施日期:2023-07-01标准类别:方法中国标准分类号:C70国际标准分类号:13.040.35 归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会执行单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会主管部门:国家标准委

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-14:2016。采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第14部分:按评估粒子污染浓度评估设备适用性。

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

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