基础信息

标准号：GB/T 41652-2022发布日期：2022-07-11实施日期：2023-02-01标准类别：产品中国标准分类号：H 82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体硅材料股份公司新美光（苏州）半导体科技有限公司山东有研半导体材料有限公司浙江海纳半导体有限公司

起草人

库黎明孙燕夏秋良潘金平闫志瑞张果虎

相近标准(计划)

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