基础信息

标准号：GB/T 20229-2022发布日期：2022-03-09实施日期：2022-10-01全部代替标准：GB/T 20229-2006标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所有色金属技术经济研究院有限责任公司有研国晶辉新材料有限公司

起草人

孙聂枫王阳李素青王书杰张路许兴姜剑李晓岚刘惠生邵会民史艳磊付莉杰张晓丹

相近标准(计划)

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