基础信息

标准号：GB/T 41213-2021发布日期：2021-12-31实施日期：2022-07-01标准类别：产品中国标准分类号：L95国际标准分类号：31.220 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

大连佳峰自动化股份有限公司中国电子技术标准化研究院

起草人

王云峰黄健孙永军孙启超杜风芹冯亚彬梁晶晶边志成李德明张飞曹可慰

相近标准(计划)

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