基础信息

标准号：GB/T 38867-2020发布日期：2020-07-21实施日期：2021-02-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

HG/T 5745-2020 工业四氯化硅YS/T 1195-2017 多晶硅副产品 四氯化硅SJ/T 10676-1995 电子工业用氧化钴粉SJ/T 10875-1995 电子电器工业用硅微粉SJ/T 10677-1995 电子工业用氧化镍粉SJ/T 11598-2016 电子工业用氢化铝钠HG/T 3587-2023 电子工业用高纯钛酸钡HG/T 3587-2009 电子工业用高纯钛酸钡SJ/T 10678-1995 电子工业用氧化铋粉HG/T 3587-1999 电子工业用高纯钛酸钡