基础信息
标准号：GB/T 37053-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-07-01标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
东莞市中镓半导体科技有限公司苏州纳维科技有限公司中国电子技术标准化研究院合肥彩虹蓝光科技有限公司南京大学电子科学与工程学院
起草人
丁晓民刘南柳修向前孙永健潘尧波徐科王香张国义
相近标准(计划)
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