基础信息

标准号：GB/T 14844-2018发布日期：2018-12-28实施日期：2019-11-01全部代替标准：GB/T 14844-1993标准类别：基础中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

楼春兰毛卫中邹剑秋孙燕马林宝宫龙飞贺东江杨素心汪新华潘金平刘晓霞张雪囡丁晓民

相近标准(计划)

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