基础信息

标准号：GB/T 4060-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-06-01全部代替标准：GB/T 4060-2007标准类别：方法中国标准分类号：H17国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

江苏中能硅业科技发展有限公司洛阳中硅高科技有限公司亚洲硅业（青海）有限公司峨嵋半导体材料研究所

起草人

胡伟刘晓霞王桃霞胡自强万烨杨旭耿全荣鲁文锋宗冰肖建忠

相近标准(计划)

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