基础信息

标准号：GB/T 36650-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-01-01标准类别：产品中国标准分类号：G51国际标准分类号：33.180.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

王强周海峰祝徐标杜晓明余晓梦赵建东刘延辉张立永刘振华吴　严季忠余宗萍

相近标准(计划)

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