基础信息

标准号：GB/T 36653-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-01-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

江苏南大光电材料股份有限公司中国电子技术标准化研究院

起草人

陈化冰孙明璐王香曹可慰

相近标准(计划)

GB/T 37007-2018 电子级三甲基镓GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟20232465-T-469 电子级四甲基硅烷20232462-T-469 电子级八甲基环四硅氧烷20231185-T-469 电子级N-甲基-2-吡咯烷酮YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法GB/T 36656-2018 电子级三乙基镓20231180-T-469 电子级磷酸DB52/T 902-2014 电子级三溴化硼HG/T 5687-2020 1,3,3-三甲基-2-亚甲基吲哚啉