基础信息

标准号：GB/T 35315-2017发布日期：2017-12-29实施日期：2018-04-01标准类别：基础中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

苏州金宏气体股份有限公司高麦仪器公司东莞市技顶电子科技有限公司中昊光明化工研究设计院有限公司西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

孙猛金向华杜汉盛张晓东周鹏云牛艳东傅铸红郭秀丽方华

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