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微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法

基础信息

标准号:GB/T 34900-2017发布日期:2017-11-01实施日期:2018-05-01标准类别:方法中国标准分类号:L55国际标准分类号:31.200 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委

起草单位

天津大学国家仪器仪表元器件质量监督检验中心中国电子科技集团公司第十三研究所中机生产力促进中心南京理工大学

起草人

郭彤胡晓东裘安萍程红兵李海斌于振毅崔波朱悦

相近标准(计划)

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