基础信息

标准号：GB/T 34210-2017发布日期：2017-09-07实施日期：2018-06-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院上海光学精密机械研究所深圳市中安测标准技术有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司东莞市华源光电科技有限公司

起草人

杭寅甄伟洪佳琪张连翰尹继刚赵松彬张毅刘卫卫

相近标准(计划)

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