基础信息

标准号：GB/T 34085-2017发布日期：2017-07-31实施日期：2017-11-01标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

陈熔林宇巍叶红艳牛艳东曲庆方华周朋云傅铸红杜汉盛史婉君孙福楠王鸿崔学文

相近标准(计划)

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